Insbesondere in der Halbleiterfertigung werden Maschinen eingesetzt, bei denen mit hoch toxischen Substanzen gearbeitet wird. Zum sicheren Betrieb der Anlagen sind regelmäßig Integrity-Tests nach dem Semi S2 und/oder S6 Standard durchzuführen.

Bei diesen Tests wird eine mögliche Leckage an der Anlage simuliert. Um die Sicherheit und Gesundheit von Personen nicht zu gefährden, muss das Abzugssystem so effektiv sein, dass kein Gas in die Umgebungsluft abgegeben wird.